신성이엔지가 10월7일까지 서울 코엑스에서 개최된 ‘제24회 반도체대전(SEDEX2022)’에 참가해 국내 반도체산업 성장에 이바지한 클린룸 주요 장비와 반도체산업 생태계 발전에 기여해 온 활동상을 소개해 주목받았다.
1977년 설립된 신성이엔지는 반도체산업의 클린환경을 조성한 기술 선도기업이다. 지난 1991년 국내 최초로 클린룸의 주요 장비인 FFU(Fan Filter Unit) 국산화에 성공했다.
클린룸은 반도체·디스플레이 등이 제조되는 고청정 공간으로, 먼지·온도·습도 등을 완벽하게 제어돼야 한다. 산업용 공기청정기인 FFU는 최첨단 공기제어기술을 통해 초미세먼지까지 효율적으로 제어, 제품의 품질과 생산수율을 높이는 클린룸의 핵심장비다. 2005년 세계일류상품에 선정됐으며 전 세계 60% 이상 시장점유율을 차지하는 등 우수한 기술력을 인정받고 있다.
이번 전시회에서는 클린룸의 주요 장비인 FFU 외에도 △기류 연동시스템 △휘발성 유기화합물 제거장비인 V-master △파티클 가시화시스템 등을 출품했다. 모두 공기제어기술을 바탕으로 개발, 고청정 공간을 조성하기 위한 장비들이다.
휘발성 유기화합물(VOCs) 제거장비인 V-master는 신성이엔지가 2005년 국내 최초로 개발한 장비다. 로터를 이용해 공장 및 클린룸 내 VOCs를 95% 이상 제거할 수 있다. 반도체·디스플레이 등 초정밀 첨단산업 제조환경은 용제 등의 이유로 유해물질이 잔존할 수밖에 없는데 이를 제거하기 위한 장비다.
기류 연동시스템은 클린룸 상부·측면에 설치돼 장비 내부의 압력 유지와 청정한 공기를 공급한다. 공기의 흐름이 역방향으로 흐르게 되면 내부에 설치된 기류방향표시기가 이를 감지해 FFU와 EFU(Equipment Fan-filter Unit) 팬의 회전율을 높여 기류가 정방향으로 흐를 수 있도록 한다.
파티클 가시화시스템은 반도체공정 중 발생하는 불량을 발생시키는 파티클(먼지)을 가시화해 오염 원인을 파악하고 해결책을 직관적으로 도출하는데 사용된다.
신성이엔지의 관계자는 “우리 회사는 1980년대 국내 반도체산업이 태동하던 시기 클린룸 국산화를 성공시키며 관련 산업이 성장할 수 있는 밑거름 역할을 했다”라며 “이번 전시회를 통해 클린룸에 구성된 주요 장비와 관련 기술을 소개할 수 있어 기쁘다”고 밝혔다.
이어 “최근 3D 프린팅기술을 통한 제품 개발로 적은 비용으로 빠른 설계와 생산을 가능케해 초격차산업에서 우위를 선점하고 있다”라며 “끊임없는 연구를 통해 이차전지 제조공간인 드라이룸도 개발하는 등 반도체를 넘어 첨단산업 환경 전반을 개선하는 것을 목표로 하고 있다”고 강조했다.
한편 반도체대전은 메모리반도체, 시스템반도체, 장비·부분품, 재료, 설비, 센서분야뿐만 아니라 디지털 TV, 모바일 등 반도체를 기반으로 하는 다양한 첨단 제품 및 기술을 접할 수 있는 종합전시회다. 세계 반도체시장과 기술에 대한 최신 정보 및 기술 교류를 확인하는 국내 최대 규모 반도체 전시 행사로 평가받고 있다.
기류 연동시스템은 클린룸 상부·측면에 설치돼 장비 내부의 압력 유지와 청정한 공기를 공급한다. 공기의 흐름이 역방향으로 흐르게 되면 내부에 설치된 기류방향표시기가 이를 감지해 FFU와 EFU(Equipment Fan-filter Unit) 팬의 회전율을 높여 기류가 정방향으로 흐를 수 있도록 한다. 
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