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스페셜리포트

[설비신기술대회-설비기술협회장상] 신성이엔지

촉매 산화방식 적용 ‘CV-Master’
클린룸 내 VOCs 유해성 문제 해결

신성이엔지는 ‘클린룸 내 에너지절감형 비산 VOCs 농축 저온 산화시스템’ 기술로 설비신기술대회에서 설비기술협회 회장상을 수상했다.

클린룸 작업환경과 관련 VOCs 유해성 문제 대두가 되고 있으며 생산 라인내 VOCs 방출에 의한 취기 문제로 근로자의 작업환경 개선 요구가 증가하고 있다. 또한 사업장 근처 주거지역 진입에 따라 악취관련 민원이 증가하고 있으며 기존 활성탄 흡착탑의 교체 및 소규모 대기방지시설 에 대한 정부 지원이 이뤄지고 있으나 용제 노출 면적 증가와 용제 사용량 증가에 따른 VOCs 방출량이 증가하고 있어 제조 사업장 환경 개선이 시급한 상황이다. 

신성이엔지의 비산VOCs 제거기술은 클린룸에서 비산 배출되는 VOCs를 효과적으로 제거해 생산환경의 VOCs 오염을 방지하며 작업자 건강과 생산 수율을 향상시키는 매우 중요한 기술로 VOCs를 흡착하는 Rotor와 저온에서 VOCs를 분해할 수 있는 촉매를 적용해 생산장비에서 배출된 VOCs 제거와 동시에 환경에 무해한 H₂O와 CO₂로 분해해 환경을 보호할 수 있다. 또한 반도체 생산을 위한 에너지사용을 최소화한 유로 구조와 VOCs의 분해열을 재사용할 수 있는 구조로 설계돼 에너지효율성이 높다.  

또한 제품 원가 절감을 위한 제조설비의 전력에너지 감소의 필요성이 대두되고 있으며 제조환경에 적합하고 효과적인 VOCs 분해기술 도입이 필요한 상황이다. 여기에 기존 설비대비 동일 효과 유지 및 주 에너지소비 장치인 히터의 전기에너지 절감도 가능해야 한다. 



신성이엔지가 개발한 VOCs concentration rotor를 이용해 공기 중 VOCs를 연속적으로 흡착 재생해 제거하는 CV-Master는 △처리존: 공기 중 VOCs를 흡착하는 구역 △재생존: 로터에 흡착된 VOCs를 고온의 열로 탈착하는 구역 △쿨링존: 고온탈착으로 인해 뜨거워진 재생존을 클린룸의 공기로 냉각하는 구역 △히터: 쿨링존을 통과해 예열된 공기를 재생온도까지 가열해주는 구역 등으로 구성돼 있다.

CV-Master는 홉칼라이트 촉매(Cu-Mn계 촉매)를 사용해 악취 및 휘발성유기화합물을 170℃에서 촉매 산화하는 분해방식을 사용하고 있다. 적용분야는 악취 및 휘발성유기화합물 배출 공정, 정수장 및 하수처리장, 선박평형수의 고도공정처리, 코로나 및 플라즈마 공정 등이다. 

신성이엔지의 기술은 클린룸 설비 내 에너지효율을 높일 수 있으며 VOCs 처리를 위해 옥외 대기방지시설 용량을 감소시켜 전체 제조시설의 에너지절감에 기여하고 일반 소규모 사업장 및 다중이용 시설, 소형화함으로써 일반 생활환경에도 적용할 수 있다. 또한 다풍량 저농도의 VOCs 오염물질 처리 시 에너지절감에 효과적인 기술을 확보함으로써 국내외 시장 확대 및 부품 국산화에 따른 일자리 창출로 산업발전에 기여할 것으로 기대된다. 

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