MEMS 기반 50bar급 공조기용 압력센서 소자 제작 기술 및 고내구성을 갖는 소형 패키징 기술 개발이 이뤄진다.

한국산업기술시험평가원은 5일 ‘2015년도 제2차 센서산업 고도화를 위한 첨단센서육성사업’ 신규지원 대상과제를 공고했다.

이번 첨단센서육성사업은 센서산업 고도화를 위한 것으로 주력산업 및 차세대 신성장산업의 경쟁력 강화를 위해 국내 일반센서 중심의 산업구조를 첨단센서 중심으로 고도화하기 위해 진행된다.

지원대상분야는 △자가 의료진단용 Bio-medical 센서 기술 개발 △공조기용 압력센서 소자 및 측정 모듈 개발 등 2건이며 이중 ‘AC 1,800V 내전압 특성을 갖는 MEMS 기술기반 50bar급 공조기용 압력센서 소자 및 측정모듈 개발’이 공조분야 과제다.

이번 과제는 산업용 및 가전용 공조기에 사용되는 20bar 및 50bar급 MEMS 기반 압력센서 소자와 AC 1800V 내전압 특성, 절연특성 및 각종 기계적, 전기적 특성을 만족하는 패키징 기술을 개발해 소형 고성능 공조기용 압력센서 모듈을 제작하는 것이다. 올해 지원금은 5억원 이내, 3년 과제이며 총 정부출연금은 10억원이 지원될 예정이다.

기술개발 주요항목은 △고신뢰성 MEMS 압력센서 소자 설계 및 bulk MEMS 공정 기술 개발 △고효율(감도) 초소형 MEMS 압력센서 소자 개발 △소형화 및 고내구성 압력센서 구조 개발 △MEMS 소자 이송·정렬 및 부착 기술 개발 △내전압용 MEMS 소자 고온 유전체 접합물질 및 접합 기술 개발 △저잡음, 온도 보상, 선형성 보상 신호 처리 회로 기술 개발 △높은 절연저항 및 내전압 특성 회로 처리 기술 개발 등이다.

또한 △ 소형화, 고내구성 (높은 절연저항 및 내전압) 패키징 기술 개발 △ 소자 수준 고정밀급 calibration 기술 및 온도보상 기술 개발 △상용화 수준 auto calibration 및 mass calibration 기술 개발 △MEMS 압력센서모듈 신뢰성 평가 기술 개발 등도 주요 기술개발 과제다.

이를 통해 세계 최고 수준의 기술을 보유한 센사타사와 동등 이상의 기술개발을 이뤄내는 것이 목표다.